光刻机供应链公司梳理（附股）

光刻机是半导体制造中的关键设备，其供应链涉及多个环节，包括光源系统、光学器件、洁净设备、温控系统、物镜系统、控制器和结构件等。以下是一些光刻机供应链中的关键参与者和相关信息：

一、光刻机整机制造商：

上海微电子：在**浸没式光刻机研发上取得重大突破，预计年底向市场交付国产第一台**光刻机设备，国内光刻机龙头企业，涉及光刻机整机制造。

张江高科：通过子公司持有上海微电子10.78%的股份。

上海电气：母公司为上海微电子的第一大股东。

二、光源系统：

波长光电：提供光刻机平行光源系统，。

福晶科技：全球最大的LBO、BBO非线性光学晶体生产商，中科院旗下公司，光刻机的中坚力量，间接供货荷兰ASML公司光刻机激光光源晶体。

苏大维格：向微电子提供光刻机用的定位光栅产品。

炬光科技：提供光刻机曝光系统核心元器件光场匀化器。

苏大维格：光栅供应商

沃格光电：光栅供应商

天准科技：对准设备供应商

磁谷科技：分子泵、氦气冷却供应商，单机价值量最高的标的之一

三、光学器件：

腾景科技：公司产品为合束器，分束器，目前小批量导入阶段，主要客户为国内大型芯片生产企业，多波段合分束器已进入微电子供应链。

茂莱光学：提供精密光学器件，DUV光学透镜给上海微电子供货。

京华激光：控股的美国菲涅尔制版科技在光刻机微结构光学方面实力较强。

福光股份：已经进入**，后续光学部件可展望单机价值量千万以上。

永新光学：量测系统光学元件供应商，已进入**。

四、洁净设备：

蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户。

美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备。

四、温控系统：

海立股份：为上海微电子的相关设备提供冷却配套系统，已实现供货，微电子装备集团的系统级合作商。

同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制。

五、物镜系统：

赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。

联合光电：物镜供应商，已获得上海微40台后道line线光刻机订单。

六、控制器：

电科数字：子公司可供货光刻机控制器。

七、结构件：

富创精密：半导体设备精密零部件厂商，结构零部件基板、冷却板等产品应用于光刻机，解决了包括光刻机中的光刻主机板、微动框架等制造技术。

正帆科技：基于工艺介质系统，在努力拓展MRO（维修、维护、运行服务）、特种气体（磷烷、砷烷等等）、半导体零部件（气柜模组Gas Box）等业务。

新莱应材：新莱应材产品真空阀门供货上海微电子。