光刻机供应链公司梳理（附股）
光刻机是半导体制造中的关键设备，其供应链涉及多个环节，包括光源系统、光学器件、洁净设备、温控系统、物镜系统、控制器和结构件等。以下是一些光刻机供应链中的关键参与者和相关信息： 一、光刻机整机制造商： 上海微电子：在**浸没式光刻机研发上取得重大突破，预计年底向市场交付国产第一台**光刻机设备，国内光刻机龙头企业，涉及光刻机整机制造。 张江高科：通过子公司持有上海微电子10.78%的股份。 上海电气：母公司为上海微电子的第一大股东。 二、光源系统： 波长光电：提供光刻机平行光源系统，。 福晶科技：
