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集成电路三期成立了,注册资金3440亿
投的会是哪些方向呢,卡脖子的光刻机、光刻胶要投吧?
蓝英装备:公司是全球领先的清洗系统和表面处理设备及解决方案提供商,瑞士子公司 UCMAG 为 ASML 及其供应商提供极紫外光刻机(EUV)的光学系统相关关键部件的清洗设备;在某特定工艺上公司是其全球唯一供应商
张江高科:(持有上海微电子10.779%股权)
茂莱光学:DUV光学透镜已经供货上海微电子
光刻胶:
南大光电:南大光电:ArF光刻胶两款产品(存储芯片50nm和逻辑芯片55nm)获部分客户认证。
容大感光:公司的g/i线光刻胶产品量产,KrF形成销售。
彤程新材(北京科华):彤程新材G线占国内较大市场,I线接近国际先进水平;KrF高端光刻胶量产,上海新工厂部分产线已试生产,ArF干法待验证,ArF湿法研发,EUV胶初级研发。
华懋科技(徐州博康):22年以来Ⅰ线光刻胶已批量供货12款;30多款KrF光刻胶已通过客户验证,20多款量产,产品覆盖了55nm,40nm,28nm,22年已有15款形成销售。ArF有26款产品可用于14-90nm制程节点,9款正在客户端进行验试,导入量产。
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