四重爆光技术对掩膜版、光刻胶需求大幅提升
四重爆光技术（SAQP）对相关材料、设备的需求也大幅提升，包括光刻胶、掩膜版。终端芯片的制程越高，对半导体国产替代全产业链的需求越大。 掩膜版： 冠石科技：公司光掩膜版制造项目已于 1 月 27 日顺利封顶。目前公司正在按照既定计划，稳步推进各项工作，，7月中旬，首台电子束掩膜版光刻机顺利交付，公司本次交付的电子束掩膜版光刻机设备是光掩膜版40纳米技术节点量产及28纳米技术节点研发的重点设备。 路维光电：公司立足于平板显示掩膜版和半导体掩膜版两大核心产品线,逐步形成“以屏带芯”的业务发展格局，公
